規制と法律 · 2011/9/27更新: 2026/10/21 · 1 分で読めます
温室効果ガスの報告を義務付けること:柔軟性を確保するために電子機器製造に関する規定の変更
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概要
EPAは, "最大の"半導体製造施設 (すなわち,直径300ミリメートルまたはそれ以下のウェルフで装置を製造し,10,500平方メートル以上の年間生産容量を有するデバイス) の電子工事部門における電気ガス報告規則の計算および監視条項を変更する規制を発行している.特に,2011,2012年と2013年の報告書において,これらの修正により,最大半導體設備は,レシピ特異利用率とプラズマ副産物形成率ではなく,すでに規定に含まれるデフォルト排出量因子を用いることで排放量を計算する機会を与えます